Cible en plaque de zirconium
Matériau : Zirconium Pureté : 99,5 % (2N5) -99,995 % (4N5) Forme : Carré, rectangulaire
Présentation du produit
Le zirconium est un métal brillant blanc grisâtre qui appartient au groupe des métaux de transition dans le tableau périodique. Le zirconium est très résistant à la corrosion et possède un point de fusion élevé, ce qui le rend utile dans une large gamme d'applications industrielles.
Il s'agit d'une fine pièce plate en zirconium métallique utilisée comme cible dans diverses applications, notamment le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et la pulvérisation cathodique. Dans ces procédés, un faisceau d'ions ou d'atomes est dirigé vers elle, provoquant son érosion et le dépôt d'une fine couche de zirconium sur un substrat.
D'autres cibles en alliage de zirconium peuvent être personnalisées, telles que TiZr, NbZr, etc.
Spécifications de la cible à plaque Zr
Pureté | 99.5%-99.995% |
Forme | planaire, plaque |
Matériel | Zirconium |
Dimension | 12x132x1701mm et dessin personnalisé |
Rugosité de surface | Ra 0.8-Ra 3,2 pour la cible |
Taille d'un grain | <200um |
Gamme de taille | L200mm~2000mm x L40mm~500mm x T1mm~50mm comme d'habitude |
Composition chimique de la cible de plaque de Zr (pureté 99,5 %)
Informations sur les articles | Numéro d'échantillon | Remarque | ||
N°01 | ||||
Analyse chimique | Cr | W / % | 0.012 | ASTM E2371-13 |
Fe | W / % | 0.02 | ||
Hf | W / % | 1.989 | ||
Informations sur les articles | Numéro d'échantillon | Remarque | ||
N°01 | ||||
Analyse de gaz | C | W / % | 0.011 | ASTM E1941-10 |
H | W / % | 0.0017 | ASTM E1447-09 | |
N | W / % | 0.0038 | ASTM E1409-13 | |
O | W / % | 0.089 | ||
Application
Il est couramment utilisé dans la production de couches minces pour diverses applications, notamment les revêtements optiques, les dispositifs semi-conducteurs et les cellules solaires à couches minces. Ils sont souvent fabriqués à partir de zirconium de haute pureté pour garantir la qualité et la cohérence des couches déposées.
La taille et la forme des cibles en Zr peuvent varier en fonction de l'application spécifique et de l'équipement utilisé. Les cibles en Zr peuvent être circulaires, rectangulaires ou d'autres formes, et leur taille peut varier de quelques centimètres à plusieurs mètres.
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